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单晶硅冲洗用超纯水设备处理方案-凯发app官方网站

文章来源:未知   发布时间:2013-02-20 14:53

近几年来,单晶硅行业作为节约能源型的行业盛行,我公司为单晶硅行业的企业做配套冲洗用水设备。

单晶硅也称硅单晶,是电子信息材料中基础性材料,属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。

单晶硅冲洗用超纯水设备处理方案

为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、ro反渗透主机系统、离子交换混床(edi电除盐系统)系统等。

单晶硅冲洗用超纯水设备处理工艺

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→cedi系统→微孔过滤器→用水点。

进水水质要求

tea(含co2 )         <25mg/lascaco3

ph            5-9

硬度                        < 0.1 mg/lascaco3

硅             <0.5mg/l

toc                       <0.5 mg/l

余氯          <0.05mg/l

fe,mn,h2s       <0.01 mg/l

进水压        30-100psi

电导率                    <40<40μs/cm

 

超纯水设备技术参数

型号

流量

产水电导率

edi堆尺寸(mm)

电压

电流

ltldi50

50l/h

5-15mω

270×600×180

80v

1.8a

ltldi500

500l/h

5-15mω

260×600×280

120v

2.0a

ltld1000

1000l/h

5-15mω

260×600×420

200v

5.0a

ltld2000

2000l/h

5-15mω

360×600×440

250v

6.0a

ltld6000

6000l/h

5-15mω

460×600×680

400v

10.0a

系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用plc可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。

执行标准:严格执行现行的各种水处理标准,不断的在工艺设计和材料选择上进行改进,以满足现行的各种标准。

编辑:莱特莱德
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